Jauge à vide active Pirani Edwards APG200-XM, sans point de consigne, NW16, KF16, 10-4 Torr. Réf : D1G1011100

La jauge à vide Pirani linéaire active Edwards APG200-XM contient une bride à vide NW16, KF16, est compacte pour une installation facile, possède une sortie linéaire et un capteur à tube remplaçable par l'utilisateur. Les nouvelles jauges Edwards sont compatibles avec tous les contrôleurs d'instruments Edwards TIC, ADC, TAG et autres contrôleurs et écrans de jauge actifs. Ils sont également approuvés CSA, C/US et entièrement conformes à RoHS en raison de leur construction sans plomb. Ils mesurent la pression de l'atmosphère jusqu'à 3,75x10 ^-4 Torr. Les câbles de signal et les contrôleurs de jauge à vide TIC sont vendus séparément. Ces jauges à vide Edwards APG200-XM Active Pirani avec filaments de tungstène/rhénium standard et bride à vide NW16 avec numéro de pièce Edwards D1G1011100.

L'APG200 est disponible en trois versions : séries M, LC et MP. La série M contient des filaments standard de tungstène/rhénium, elle peut mesurer la pression atmosphérique jusqu'à 3,75 x 10 ^-4 Torr et convient aux applications générales. La version LC contient des filaments de platine/iridium résistants à la corrosion, elle peut mesurer la pression atmosphérique jusqu'à 7,5 x 10 ^-5 Torr et convient également pour une utilisation dans des applications corrosives. La série MP contient des filaments Platine/Rhodium, elle peut mesurer la pression atmosphérique jusqu'à 3,75x10 ^-4 Torr et convient aux applications générales. Le manuel d'instructions de ces jauges Edwards de la série APG200 est disponible au format PDF ci-dessous.

L'APG200 peut être monté dans n'importe quelle orientation, mais les tubes de jauge sont calibrés individuellement en usine en azote lorsqu'ils sont verticaux. Pour une indication correcte de la pression dans l’orientation choisie de la jauge, la jauge doit être recalibrée à la pression atmosphérique. Edwards recommande de monter le tube de jauge verticalement afin de minimiser l'accumulation de particules de procédé et de vapeurs condensables à l'intérieur de la jauge. L'APG200 est calibré pour une utilisation dans l'azote et lira correctement avec de l'air sec, de l'oxygène et du monoxyde de carbone. Pour tout autre type de gaz, une conversion est nécessaire afin d'obtenir la lecture correcte de la pression, gaz courants : azote, argon, dioxyde de carbone, hélium, krypton et néon.

Les fonctionnalités incluent:

• Accès facile au câble de signal avec boîtier compact
• Capteur pouvant être cuit à 150°C (300°F) et le capteur est remplaçable par l'utilisateur
• Point de consigne réglable pour un contrôle et un verrouillage simples du processus
• Calibrage à distance possible
• Plage de pression 10 ^-4 Torr

Contexte des jauges Pirani améliorées par convection et Pirani
Les jauges à vide Pirani peuvent être classées comme jauges de conductivité thermique, très similaires à la jauge à thermocouple où la résistance du fil chauffé est mesurée pour déterminer la pression du vide. Une jauge Pirani est conçue pour mesurer le déséquilibre de résistance là où le filament chauffé forme l'un des bras d'un circuit en pont de Wheatstone. À mesure que la pression du vide augmente, les molécules de gaz évacuent la chaleur du filament et la résistance du capteur de pression se déplace vers une valeur inférieure, ce qui déséquilibre le circuit. La pression du vide est donc calculée à partir du déséquilibre induit par la pression dans le circuit du pont de Wheatstone. Tout comme avec les jauges à thermocouple, la conductivité thermique par collisions moléculaires augmente linéairement avec la pression sur la plage de pression de 0,001 à 1 Torr. Cependant, l’évacuation de la chaleur devient non linéaire à mesure que la pression augmente encore dans le régime d’écoulement visqueux, où une collision gaz-gaz peut réorienter les molécules vers le fil chauffé. Les molécules doivent entrer en collision plusieurs fois avant d'atteindre le corps externe du capteur (le dissipateur thermique). Les jauges Pirani améliorées par convection tirent parti du courant conventionnel à l'intérieur du capteur pour étendre sa plage de mesure de pression jusqu'à la pression atmosphérique.

La jauge Pirani est un capteur de mesure de pression indirecte où les lectures mesurées dépendent du type de gaz. Il convient d'être prudent étant donné que les gaz plus lourds ont de faibles taux de transfert de chaleur et que les jauges Pirani standard améliorées par convention sont étalonnées pour le N2 (essentiellement le même étalonnage que l'air). Cela pourrait conduire à des conditions de surpression dangereuses lors du remplissage d'un système à vide avec un gaz plus lourd comme l'argon. Le danger survient si l'opérateur du système de vide ne corrige pas la lecture de la jauge pour le type de gaz correct. Par exemple, une jauge standard calibrée pour le N2 affiche 24 Torr lorsque la chambre est à 760 Torr d'argon. L'opérateur serait trompé en pensant que la chambre était toujours sous vide et continuerait à augmenter le système jusqu'à un état critique de surpression. Une autre source d'erreur peut survenir si la jauge Pirani améliorée par convection n'est pas montée correctement. La plupart des capteurs commerciaux exigent qu'ils soient montés parallèlement au sol. Cela permet au courant de convention à l'intérieur du capteur de circuler dans la direction conçue (des erreurs de 20 % ou plus peuvent facilement être introduites si le capteur Pirani amélioré par convention n'est pas monté horizontalement).

L'évacuation rapide de ces capteurs Pirani améliorés par convection produira une erreur de mesure significative pendant une courte période de plusieurs secondes. À mesure que les gaz pompés rapidement se dilatent, l’élimination de la chaleur du filament du capteur de pression n’est pas un courant de convection normal mais est plutôt provoquée par une convection forcée. Tandis que la pression du vide chute rapidement, les gaz se dilatent et se refroidissent, ce qui constitue une voie secondaire pour éliminer la chaleur du fil chaud du capteur. La jauge Pirani améliorée par convection peut afficher faussement des pressions élevées jusqu'à 1 000 Torr pendant l'évacuation du système. Une fois le flux de gaz arrêté, la pression mesurée se stabilise à nouveau à une valeur mesurée réaliste. Pour ces raisons, les jauges Pirani améliorées par convection ne sont pas bien adaptées à la mesure des changements de pression dans des conditions de pompage dynamiques. Dans l'ensemble, le Pirani amélioré par convection est un manomètre à vide brut populaire et rentable qui peut mesurer de l'atmosphère à 1x10 ^-4 Torr, les mesures inférieures à 1 Torr étant les plus précises.